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Tiegelziehen von monokristallinem Silizium „Czochralski-Verfahren”

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Tiegelziehen von monokristallinem Silizium „Czochralski-Verfahren”

Zuverlässige Temperaturmessung bei der Materialkristallisation.
Optimale Überwachung des Prozesses durch komplett digitale Messwertverarbeitung. Schnelle und berührungslose Temperaturüberwachung und -steuerung des Heizsystems; Kompakte, kostengünstige und leicht zu integrierende Sensoren. 
 

 

Prozess

  

Aufgabenstellung

  

Lösung
         

Tiegelziehen von monokristallinem

Silizium „Czochralski-Verfahren”

  

Bestimmung der Silizium-Schmelztemperatur und Gewährleistung eines korrekten Kristallisationsprozesses.


Steuerung des Heizsystems zur Optimierung der Energieeffizienz und des Kristallisations-prozesses.       

  

Hochgenaues Quotienten-pyrometer (optional mit eingebauter TV-Kamera) für eine schnelle Temperaturmessung.

Messung der Schmelztemperatur:
ISQ 5

 

Zuverlässiges und leicht zu integrierendes Pyrometer zur Temperaturüberwachung und SPS-Steuerung.


Überwachung und Steuerung des
Heizsystems:
Serie 200